电子行业

电子工业的飞速发展是由于电子元器件在日益微型化,包括前段生产中的裸片,后段生产中的更复杂芯片,以及PCB生产中的更高元器件密度。这些进步都需要不断提高测量和运动系统的精度。
搭载HEIDENHAIN编码器的ETEL平台和ETEL位置和运动控制单元让这些应用达到高精度和高性能。NUMERIK JENA和RSF的光栅尺和编码器也是这些高端解决方案的一部分。

半导体和电子制造行业的关键产品

定位精度是芯片和电子组件性能提升的推动力量,反过来又提高了定位精度。

半导体前段制造解决方案

优化裸片生产

HEIDENHAIN敞开式直线光栅是高动态性能、高精度设备的理想选择,其中包括半导体前段生产设备,可长期保持高稳定性且易于安装。

在这些应用中,ERP系列无内置轴承的模块型光学角度编码器可配大空心轴使用,轴速可达20 000 rpm。这些编码器重量轻,转动惯量小,无需额外启动扭矩。半导体生产设备可从这些突出亮点中获益。

ETEL运动系统含丰富的平台产品,从独立的X轴到完整七轴系统解决方案,满足半导体生产领域大量不同应用的要求。ETEL拥有丰富的电机和电子行业的专业技术并与HEIDENHAIN的控制技术垂直整合为一体,为用户提供显著获益,例如卓越的双向重复精度高达±250 nm。

半导体后段制造的测量和运动系统

半导体后段生产的直线光栅尺

半导体后段生产设备和自动化系统需要满足许多要求。HEIDENHAIN和NUMERIK JENA及RSF共同提供量身定制的直线光栅尺,全面满足这些要求。从超高精度到超小尺寸,支持不同配置,满足应用要求。

半导体后段生产的高精度角度测量

为确保半导体生产中旋转轴的正确定位,高精度旋转编码器不可或缺,例如固晶和封装。HEIDENHAIN提供两类解决方案:ERP和ERO系列模块型光学角度编码器或MRP系列角度编码器模块,模块型角度编码器中含角度编码器和高精度轴承并相互配合,简化操作和安装,优异的方位精度满足测试和性能要求。

高端应用的机电一体化运动系统

ETEL提供丰富的运动系统。从独立产品到紧密集成的平台,这些解决方案都能满足半导体应用的特有要求,设备制造商可专注于其核心技术。详细了解有关ETEL高性能机电一体化运动解决方案。

详细了解我们在全球SEMICON展会上亮相的创新成果,欢迎访问专题网站。

更多亮点

电子组件和PCB电路板生产的编码器

敞开式直线光栅尺
更高动态性能

对于电子制造业,在PCB和电子组件上贴装元器件,生产速度至关重要。HEIDENHAIN LIC和LIDA敞开式直线光栅尺精度高和运动速度快,可充分满足应用要求。可用NUMERIK JENA和RSF的光栅尺和编码器打造量身定制的解决方案。

高精度旋转轴定位

ERO和ERA系列模块型光学角度编码器是电子组件和PCB制造设备中大型旋转轴的优选解决方案。MRP系列角度编码器模块的操作和安装都十分简单,模块中含角度编码器和高精度轴承,是设备的完整功能部件,拥有特定的工作性能。这些编码器可取代旋转轴的空气轴承,而且无需安装后调试,避免高昂成本。也可选择RSF的MCR 15系列角度编码器,这款编码器专用于电机应用。

ETEL支持高动态性能运动

无论是XY工作台、龙门系统,还是回转工作台,ETEL都提供全套运动系统解决方案,支持在不同类型设备上使用直驱电机。这些高精度和高动态性能解决方案帮助设备制造商实现应用所需的运动,包括从两直线轴的简单系统到三直线轴并配旋转轴的复杂系统。ETEL解决方案充分利用空间,可打造结构紧凑的设备。

先进LED和显示技术的编码器

精密直线定位,绚丽的显示器

从智能手机的小型触控屏到大型UHD宽屏电视,超平显示器的分辨率高和色彩绚丽,LED生产设备的定位精度是其成功原因之一。与电子工业的其他领域一样,HEIDENHAIN、NUMERIK JENA和RSF的敞开式直线光栅尺和编码器提供其所需的高精度定位性能。

高精度旋转轴

ERO、ERP、ECA和ERA系列模块型光学角度编码器精度范围广,动态性能优异,可靠性高,可满足LED和显示屏生产对旋转运动的要求。在我们的产品中定有一款满足您的应用要求。

在编码器全生命周期中保持高精度:
HSP 1.0信号处理ASIC

或许您还希望了解

敞开式直线光栅尺和高稳定性测量

本白皮书介绍HEIDENHAIN如何确保编码器在其全生命周期内保持高精度。
下载白皮书

电子行业直线电机编码器

位置编码器对直线电机的性能发挥着举足轻重的作用。本白皮书为您简要介绍其中的奥秘。
下载白皮书

真空应用的直线光栅尺

真空技术在电子和薄膜技术行业发挥着关键作用。本白皮书介绍直线光栅尺如何满足这些行业要求。
下载白皮书

接口、信号和接口连接装置

接口位于编码器与后续电子电路之间,用于确保信息的可靠交换。本样本提供全面介绍。
下载样本